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2013年3月25日月曜日

超精密鏡面切削加工(8) (Ultraprecision Mirror Cutting)

(Cu copper)を超精密30nm段付き鏡面切削加工しましたのでご紹介致します。
 
 
 

加工方法   旋盤による端面段付き切削加工 ( Turn Lathe )
材質      無酸素銅 C1020
サイズ     φ50 
ノーズR           R0.5
表面粗さ    Ra2nm~Ra4nm (中心部を除く)
                       「超精密鏡面切削加工(1) (Ultraprecision Mirror Cutting) を測定」を参照
 
 
 
 
 
 
 
中心から外径方向にX1.0動くとZ0.00003(30nm、30ナノ)下がる円形階段ピラミッド(Pyramid)











 

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