超精密鏡面切削加工（１） (Ultraprecision Mirror Cutting) を測定

超精密鏡面切削加工（１） (Ultraprecision Mirror Cutting)を測定してみました。

 

加工方法　　　旋盤による端面切削加工 ( Turn Lathe )

材質　　　　　　無酸素銅　C1020

サイズ　　　　　φ50　

 

2箇所づつ測定してみましたところ、

１）外径に近い部分
                                 Ra2.018nm = Ra0.000002018mm
                                 Ra1.960nm = Ra0.000001960mm

２）外径と中心の中間部
                                Ra2.155nm = Ra0.000002155mm
                                Ra2.070nm = Ra0.000002070mm

３）中心部
                                Ra8.870nm = Ra0.000008870mm
                                Ra9.707nm = Ra0.000009707mm

という結果でした。

中心部は、へそも残っており周速ゼロになるためか、
切り子が出せずに、中高になっているようです。

肉眼で見ることの出来ない世界なのでワーク中心のへそ取り、つまりバイトの高さ合わせは、ナノレベル調整なのでかなり難しいです。

 



 

１）外径に近い部分

 

 

２）外径と中心の中間部

３）中心部

 

 

 

 

肉眼では、バイトの挽き目は全く判りませんが、約85μm ( 930μm/11山 ) ピッチで綺麗に切削されているようです。

また、結晶粒界(Grain boundary）が、確認できます。